申请号/专利号:200520011261
本实用新型公开了一种可转动的束光栏装置,至少包括:一光栏座、一转动气缸、一移动气缸、两弹簧、一顶轴、一顶杆、一光栏架、一光栏板、一转动摆块、一气缸固定板,所述的光栏板设置在光栏架上,并可在光栏架上水平移动;所述的光栏架转动轴设置在光栏座上;所述的转动摆块固定在光栏架的转动轴连接,一端与转动摆块连接,另一端与冷却水管连接;所述的转动汽缸安装在气缸固定板上;所述的移动气缸轴与顶轴连接;所述的顶轴一端轴头与顶杆一端头接触;所述的弹簧固定设置在光栏架上,其自由端与光栏板连接。本实用新型对于光栏可设计不同的缝隙,不使用光栏时,转动气缸可使光栏架离开束通道,移动气缸可调节光栏的中心位置,利于对中。
申请日:2005年03月31日
公开日:
授权公告日:2006年05月10日
申请人/专利权人:北京中科信电子装备有限公司
申请人地址:北京市海淀区复兴路乙20号大地写字楼北门44号办公楼二层东段
发明设计人:郭建辉
专利代理机构:北京中海智圣专利事务所
代理人:曾永珠
专利类型:实用新型专利
分类号:H01J37/30;H01J37/301;H01J37/317;H01L21/265