摘要:MEMS开关MEMS开关就是MEMS技术的具体应用。顾名思义,开关就是来控制电路通断状况的,高效、快速反应、准确、重复使用频率、高可靠性是现代电路系统对开关的特殊要求。MEMS开关的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson,随后经过了二十几年的发展,由于薄膜的柔软和变形,MEMS开关始终没有取得人们预期的成绩。随着通讯频率的不断增高,现有的半导体开关因不能满足频率的升高而失去开关能力。MEMS开关的出现为高科技电路系统的发展提供了有力的保障,他在各个领域的电路控制方面有广泛的应用。? [阅读全文]