一种由中子、带电粒子、γ射线等将样品活化,对其衰变特性进行测量的分析技术。包括中子活化分析、带电粒子活化分析和光子活化分析几种。它比化学分析灵敏。
原理 中子、带电粒子或γ射线同样品中所含核素发生核反应，使之成为放射性核素(这个过程称为活化)，测量此放射性核素的衰变特性（如半衰期、射线的能量和射线的强度等）来确定待分析样品中所含核素的种类及其含量。
光子活化分析 除了具有以上两种分析共同的优点外,还有其特有的长处:自屏蔽效应不像热中子那么严重；对轻元素有很高的灵敏度，不仅对不能作快中子或热中子活化分析的碳、铍和氘可以进行有效的分析，就是对分析氮、氧和氟等元素也是非常有用的；此外它还可以测定一些其他的元素如卤族元素、锶、铬、铷、铊和铅等，特别是对诸如包含有钠、钾或猛等的矿物、地质样品，有可能无干扰地进行非破坏性分析。事实上，使用电子直线加速器产生的高能轫致辐射活化源以来，光子活化分析技术已从集中在少数几个轻元素的单一元素测定扩展到五六十种中重和重元素的非破坏性分析，在科学和工业的许多领域都获得了广泛的应用。
