摘要:低温泵Cryopump(cold pump | cryogenic pump | cryovacuum pump | low temperature pump) 利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。 抽气原理 在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结,并保[阅读全文]