摘要:吴德馨 吴德馨,女。半导体器件专家。河北乐亭人。1961年毕业地清华大学无线电电子学系。中国科学院微电子中心主任、研究员。作为主要负责人之一,在国内首先研制成功硅平面型NPN高速开关晶体管,所提出的提高开关速度的方案被广泛采用。在介质隔离数字集成电路和高阻抗运算放大器线性电路的研制中,解决了许多关键问题,研制成功N沟MOS4K位动态随机存贮器,在国内首先将正性胶光刻和干法刻蚀等用于大规模集成电路的研制,并进行了提高成品率研究,打破了中国大规模集成电路成品率低的局面;研制成功16K位和6[阅读全文]